特許
J-GLOBAL ID：200903065927091240
位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-047672
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260393
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】被処理基板の垂直方向よりレーザ測長器により高さを測長することにより、光学式焦点検出器と併用して、高精度に高さ及び傾斜量を制御することを目的とする。【構成】ウェーハ2と平面ミラー9を備えたトップテーブル10は、粗Zステージ13により上下する。Z方向の絶対高さは、Zレーザ測長系17にて平面ミラー9を使用して測長する。光学式焦点検出器は、まず、この平面ミラー9上に測定光21を反射させ、干渉縞信号25より基準位相を算出する。次に、ウェーハ2に測定光21を反射させ、基準位相との位相差によりZ方向の高さ,目標値を補正する制御を行う。
請求項（抜粋）：
被処理基板を保持するとともに、該基板を予め定められた基準平面内で、2次元的に移動させるためのX,Yステージと、該X,Yステージに設けられ、前記基準面とほぼ垂直方向に可動なZステージと、該Zステージに設けられ、該基板を前記基準面に対して、任意の方向に傾斜可能なレベリングステージと、該基板の傾斜量を検出する検出手段を有する装置において、被処理基板の垂直方向よりレーザ測長器により、高さを測長することを特徴とする位置決め装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 311 N
, H01L 21/30 311 W
