特許

J-GLOBAL ID：200903065927862883

新規な光感受性樹脂組成物

発明者： ウィリアム・ディー・ウェーバー ,  パメラ・ジェイ・ウォータースン ,  スティーブ・リエン-チュン・シュー ,  アーマド・ナイイニ
出願人/特許権者： アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-572722
公開番号（公開出願番号）：特表2002-526795
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】ポジの光感受性樹脂組成物。この組成物は、(a)構造(I)【化1】(式中、Ar1は4価の芳香族基、脂肪族基、複素環基またはこれらの混合基であり、Ar2は場合によっては珪素を含んでよい、2価の芳香族基、複素環基、脂環族基または脂肪族基であり、Ar3は2価の芳香族基、脂肪族基、複素環基またはこれらの混合基であり、Zは基【化2】の1つであり、xは10〜1000であり、yは0〜900であり、bは0.10〜350である)を有するキャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー、(b)感光剤、および(c)溶媒を含有する。

請求項（抜粋）：

(a) 構造 【化1】(式中、Ar1は4価の芳香族基、脂肪族基、複素環基またはこれらの混合基であり、Ar2は場合によっては珪素を含んでよい、2価の芳香族基、複素環基、脂環族基または脂肪族基であり、Ar3は2価の芳香族基、脂肪族基、複素環基またはこれらの混合基であり、 Zは以下の基 【化2】の1つであり、 xは10〜1000であり、yは0〜900であり、そしてbは0.10〜350である)を有するキャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマー、(b) 感光剤、および(c) 溶媒からなるポジ光感受性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/023 501 ,  C08G 73/22 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/04 ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/023 501 ,  C08G 73/22 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/04 A ,  G03F 7/022 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (77件)：

2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025BE02 ,  2H025CB26 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC06 ,  2H025FA01 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CM031 ,  4J002CM042 ,  4J002ED056 ,  4J002EL067 ,  4J002EU046 ,  4J002EV206 ,  4J002GP03 ,  4J043PA19 ,  4J043PC185 ,  4J043QB34 ,  4J043RA05 ,  4J043SA06 ,  4J043SA52 ,  4J043SA71 ,  4J043SB02 ,  4J043TA06 ,  4J043TA09 ,  4J043TA42 ,  4J043TB01 ,  4J043UA041 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA261 ,  4J043UA331 ,  4J043UA361 ,  4J043UA362 ,  4J043UA381 ,  4J043UA621 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB221 ,  4J043UB222 ,  4J043UB281 ,  4J043UB282 ,  4J043UB291 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043UB351 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA051 ,  4J043VA052 ,  4J043WA08 ,  4J043XA19 ,  4J043XA38 ,  4J043XB11 ,  4J043XB28 ,  4J043XB31 ,  4J043YA06 ,  4J043ZB50

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-354757   出願人：東レ株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-068799   出願人：住友ベークライト株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-094253   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-158400   出願人：住友ベークライト株式会社
• 特開平4-031862
  
• 特開平3-087745
  
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-253147   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-117387   出願人：住友ベークライト株式会社
• パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-283385   出願人：株式会社東芝