特許
J-GLOBAL ID：200903065928270432
ペリクル用ライナー及びそれを用いたペリクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝田 清暉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344223
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160854
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 離型剤が粘着剤層側に転移することがない上、オートマウンター適性に優れたペリクル用ライナー、及び、オートマウンターにより、確実且つ容易にフォトマスクに貼着することのできるペリクルを提供する。【解決手段】シート状基材の少なくとも一方の表面に、フッ素変性シリコーンを離型剤として0.1〜1.0g/m2 塗布してなるペリクル用ライナー、及び、該ライナーを有するペリクル。。
請求項（抜粋）：
シート状基材の少なくとも一方の表面に、フッ素変性シリコーンを離型剤として0.1〜1.0g/m2 塗布してなることを特徴とするペリクル用ライナー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
