特許

J-GLOBAL ID：200903065933349772

電子ビーム露光装置

発明者： 大嶋 徹
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 中島 洋治 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210171
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061131
出願日： 1992年08月06日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 露光用乾板またはウエハなどの試料に集積回路パターンを描画する際に用いられる電子ビーム露光装置に関し,電子ビーム照射時に帯電する電荷により,露光後の試料上に付着するパーティクルを低減して,パーティクルに起因するパターン欠陥の発生個数を低減する。【構成】 クロム乾板14への電子ビームの照射が行われるメインチャンバー11に隣接して,クロム乾板14のメインチャンバー内への搬入および搬出の用に供せられるサブチャンバー16が設けられている。サブチャンバー16内には,静電気モニタ19と静電気除去器20とが設けられている。電子ビーム露光後のクロム乾板14’は,静電気モニタ19により帯電電荷量を計測しながら,その表面に帯電した電荷を静電気除去器20により除電される。これにより,クロム乾板14’の表面に塗布されたレジストに溜まる電荷も除電できるようになる。

請求項（抜粋）：

露光用乾板またはウエハなどの試料に集積回路パターンを描画する際に用いられる電子ビーム露光装置であって,試料への電子ビームの照射が行われるメインチャンバーと,該メインチャンバーに隣接して設けられ,試料のメインチャンバー内への搬入,および試料のメインチャンバーからの搬出の用に供せられるサブチャンバーとを備え,サブチャンバー内に,静電気除去器と,静電気モニタとが設けられており,静電気除去器は,電子ビーム露光後,メインチャンバーからサブチャンバー内へ搬入された試料の表面に帯電した電荷を除電し,静電気モニタは,除電中の試料表面の電荷量を計測し,試料表面に帯電した電荷量が所定の規格値になるので,静電気除去器を機能させることを特徴とする電子ビーム露光装置。