特許

J-GLOBAL ID：200903065934595882

微量吐出装置

発明者： 小出 晃 ,  三宅 亮 ,  佐々木 康彦 ,  寺山 孝男 ,  三巻 弘 ,  石田 康彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-242398
公開番号（公開出願番号）：特開平11-082309
出願日： 1997年09月08日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】従来の静電駆動型マイクロダイアフラムポンプは、静電力を加えたときに液体を吸引し、静電力を取り除いたときに吐出する構成であり、吐出時の切れが悪いという問題が有った。【解決手段】本発明では、静電気力を発生した時に送液ダイアフラムを変形し、送液室内の流体を吐出し、静電気力を取り除いた時に流体を吸引するように構成したものである。【効果】これにより、静電駆動型マイクロダイアフラムポンプにおいて液切れ良く液体を気体中に吐出できるようになり、液切れの悪さによる吐出量のばらつきや吐出ノズルの目詰まりの問題がなくなる。

請求項（抜粋）：

送液室と、前記送液室の入口側に第1の流体抵抗手段を、出口側に第2の流体抵抗手段を設け、前記送液室の少なくとも1面が可変可能なダイアグラムと、前記ダイアグラムを可変する駆動手段とを備え、前記ダイアフラムを駆動することによって、前記送液室に前記入口側から流体を吸引し、かつ出口側から吐出させる構成の微量吐出装置において、前記駆動手段が、電気的に絶縁された固定電極と、可動電極と、前記可動電極に設けた加圧部材からなり、前記ダイアフラムの一方側に設けた構成とした微量吐出装置。