円形基板位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-352858
公開番号（公開出願番号）：特開平10-173031
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】光学的手段により、精度よく切欠き部を検出して位置決めができる円形基板位置決め装置を提供する。【解決手段】ノッチ1aを有するノッチウェハ1を、その中心が回転テーブル2の回転中心と一致した状態で保持する。ノッチウェハ1のエッジ部分を照明手段3により均一に照明し、ノッチウェハ1のエッジ部のエッジ像を結像レンズ4によりスリット付きのSPD(受光素子)5a,5bに明瞭に結像する。これら2つのSPD5a,5bのスリットの長手方向を、互いに平行に且つノッチウェハ1の半径方向に配置する。制御部7はSPD5a,5bの出力をモニターして、ノッチ1a部以外のエッジ像がSPD5a,5bに結像されているときの出力信号よりも大きく、且つ二つの出力が同出力となる位置に、回転テーブル2を止めるようにモータ8を制御する。

請求項（抜粋）：

切欠き部を有する円形基板の中心と回転中心とが一致する状態で、円形基板を保持して回転させる回転テーブルと、この回転テーブルの回転駆動を制御する制御手段と、前記円形基板のエッジ部を照明する照明手段と、この照明手段の照明による前記円形基板のエッジ像を結像する結像手段と、前記円形基板のエッジ像が前記結像手段によって結像される位置に配置された、スリットを有する2つの受光素子とを備えたことを特徴とする円形基板位置決め装置。

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