特許
J-GLOBAL ID：200903065948696380
平面状物の緩やかな凹凸検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262431
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099639
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【構成】 レーザー光源2と、コア径aの光ファイバ6と、焦点距離fが100a以上の凸レンズ7と、平面状被検査物表面に入射させるシリンドリカルレンズ8と、被検査物表面からの反射光を映すスクリーン4と、スクリーン像を撮影するCCDカメラ5と、画像処理部9とから構成され、凸レンズ7が光ファイバ端から焦点距離以上離れたところに配置され、シリンドリカルレンズ8が、凸レンズ7からの出射光を、概略スリット光に形成し、概略スリット光を平面状被検査物表面に斜めから入射角φで入射させ、表面形状を反映して表面反射した光をスクリーン上に投影させ、画像処理部9が画像データから欠陥部位を判定する平面状物の緩やかな凹凸検査装置。【効果】 高精度で欠陥を認識でき、光学系も簡単できかつ簡易に操作できる簡便な検査装置として使用でき、大きな面積の凹凸欠陥などは容易に検出できると共に、ミリオーダーサイズでも検出できる。
請求項（抜粋）：
波長λのレーザー光源と、該レーザー光を導くコア径aの光ファイバと、該光ファイバからの出射光を実質的に平行にする、焦点距離fが100×a以上の凸レンズと、該凸レンズからのレーザー光を一方向に拡大して平面状被検査物表面に入射させるシリンドリカルレンズと、該被検査物表面からの反射光を映すスクリーンと、該スクリーン上の像を撮影するエリア型又はライン型CCDカメラと、該CCDカメラからの画像データを処理する画像処理部とから構成される、欠陥幅がW、欠陥面の平均傾斜角がΔθである緩やかな凹凸欠陥表面を有する被検査物に対する凹凸検査装置において、該凸レンズが、光ファイバ端から焦点距離以上離れたところに配置され、該シリンドリカルレンズが、該凸レンズからの出射光を、入射面内で僅かな拡がり角(2θL)をもち、それに垂直な方向に必要な検査幅を得る拡がり角(2θT)を持つ概略スリット光に形成し、該概略スリット光を平面状被検査物表面に斜めから入射角φで入射させ、表面形状を反映して表面反射した光をスクリーン上に投影させ、該画像処理部が、スクリーン上の投影像の画像データを処理し、濃淡検査を行なって欠陥部位を判定する平面状物の緩やかな凹凸検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/30
, G06F 15/62 400
