特許
J-GLOBAL ID:200903065950436336

誘導形測長システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 武久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-183697
公開番号(公開出願番号):特開2002-039793
出願日: 2001年06月18日
公開日(公表日): 2002年02月06日
要約:
【要約】【課題】 精度が高く、1μm以上の範囲の高い分解能が得られる光電式長さ測定装置の利点と、丈夫で、環境の影響に対して安定性を有する誘導形装置の利点が同時に得られるようにする。【解決手段】 コイル構造体は、ほとんど閉じた巻線の形の輪郭を有する、コイルの組み合わせとしての多層構造であり、コイル構造体は複数の対のレシーバを備え、各々の対は差動接続された2個のレシーバ要素を備え、このレシーバ要素は少なくとも2つの測定チャンネルの各々のための信号発生のために相互接続可能であり、少なくとも1個のエミッタ要素が設けられ、このエミッタ要素は測定方向における標準器と相対的な位置に依存してレシーバ要素に誘導結合され、オフセットおよびまたは正弦形状およびまたは振幅を補償した少なくとも1つの出力信号を発生する。
請求項(抜粋):
コイル構造体と、可変の磁気抵抗または導電性の少なくとも1つの目盛りを有する標準器とからなる、位置検出のための誘導形測定装置において、コイル構造体が、ほとんど閉じた巻線の形の輪郭を有する、コイルの組み合わせとしての多層構造であり、コイル構造体が複数の対のレシーバを備え、各々の対が差動接続された2個のレシーバ要素を備え、このレシーバ要素が少なくとも2つの測定チャンネルの各々のための信号発生のために相互接続可能であり、少なくとも1個のエミッタ要素が設けられ、このエミッタ要素が測定方向における標準器と相対的な位置に依存してレシーバ要素に誘導結合され、オフセットおよびまたは正弦形状およびまたは振幅を補償した少なくとも1つの出力信号を発生することを特徴とする測定装置。
IPC (3件):
G01D 5/245 101 ,  G01D 5/245 ,  G01B 7/00
FI (3件):
G01D 5/245 101 J ,  G01D 5/245 101 S ,  G01B 7/00 D
Fターム (15件):
2F063AA02 ,  2F063CB20 ,  2F063DA05 ,  2F063EA02 ,  2F063GA01 ,  2F063GA65 ,  2F063GA69 ,  2F063KA02 ,  2F077AA11 ,  2F077CC02 ,  2F077NN05 ,  2F077NN22 ,  2F077PP06 ,  2F077QQ02 ,  2F077VV01
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特開昭61-159101
審査官引用 (1件)
  • 特開昭61-159101

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