特許

J-GLOBAL ID：200903065955453220

リンを含んだガラス膜の形成方法

発明者： 井本 克之 ,  内藤 孝 ,  山本 浩貴
出願人/特許権者： 日立電線株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-038172
公開番号（公開出願番号）：特開平7-247131
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 少なくともリンを1種含んだガラス膜を、ガス・デポジション法を用いて形成するにおいて、ガスエアロゾル化が湿気の影響を受けてもノズル先端の目詰まり等の影響がなく安定して成膜が行えるリンを含んだガラス膜の形成方法を提供する。【構成】 基板2に少なくともリンを含んだガラス膜5を形成する方法において、SiO2 等に予めPを添加して形成したPを含むガラス微粒子12〜15,26を、ガス中に浮游させてエアロゾル状態とし、これをノズル6を介して真空中に保たれた基板2表面に吹き付けてガラス膜5を形成することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基板に少なくともリンを含んだガラス膜を形成する方法において、SiO2 等に予めPを添加して形成したPを含むガラス微粒子を、ガス中に浮游させてエアロゾル状態とし、これをノズルを介して真空中に保たれた基板表面に吹き付けてガラス膜を形成することを特徴とするリンを含んだガラス膜の形成方法。

IPC (3件)：

C03B 19/14 ,  C03C 3/06 ,  C03C 3/097