特許

J-GLOBAL ID：200903065956697840

露光装置

発明者： 高橋 正人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-275561
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102286
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 床振動に対する許容範囲が広い露光装置を提供する。【解決手段】 設置面としての床11上に設置されるベースプレート12上に、露光処理を行う露光本体部13がバネ要素K、ダンパー要素Cからなる除振パッドにより支持されている。ベースプレート12上には、該ベースプレート12の振動を検出するための加速度センサ40が設けられており、制振制御装置41は該加速度センサ40の検出値に基づき、露光本体部13に伝達される振動を低減するように、アクチュエータ39の作動を制御する。

請求項（抜粋）：

設置面上に設置される支持基板上に防振装置を介して露光本体部を支持した露光装置において、前記支持基板の振動を検出する振動検出装置と、前記振動検出装置による検出値に基づき、前記露光本体部に伝達される振動を低減するように前記防振装置を制御する制御装置とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  F16F 15/02 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (18件)：

2H097BA02 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2H097LA20 ,  3J048AA02 ,  3J048AB11 ,  3J048AD03 ,  3J048BC02 ,  3J048BE02 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046CC01 ,  5F046DB10 ,  5F046DB14 ,  5F046DC09 ,  5F046DC14 ,  5F046GA11 ,  5F046GA14