特許

J-GLOBAL ID：200903065974727870

電子ビーム装置

発明者： 三田村 茂宏 ,  野地 健俊
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319706
公開番号（公開出願番号）：特開平10-162760
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】試料に照射する電子ビームを安定化する。【解決手段】電子銃1からの電子ビーム10が収束レンズ2と対物レンズ3によって絞られて試料4に照射され、試料4からのX線の強度を分光検出して試料の定性・定量分析が行われる。遮蔽アパーチャ6を通過した電子ビームはすべてが通過アパーチャ7を通過し、さらにその中心部が対物アパーチャー8を通過して試料4まで到達する。一方、遮蔽アパーチャー6を通過した電子ビームの周辺部は対物アパーチャー8に遮られ箱形のファラデーカップ5によって捕らえられる。これは電流検出回路12によって検出され、この電流値に基づいて収束レンズ制御部13が収束レンズ電源14を介して収束レンズ2の強さを制御し、ファラデーカップ5で検出される電流および試料4への照射ビーム電流を安定した一定値とする。

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生する電子ビーム源と、電子ビームを収束するための収束レンズおよび対物レンズを有する電子ビーム装置において、前記収束レンズと対物レンズの間に、電子ビーム遮蔽用の第1絞りと、この第1絞りより対物レンズ側に、前記第1絞りより小さい開口を持つ第2絞りを有するビーム電流測定手段と、このビーム電流測定手段の検出した測定ビーム電流に基づいて前記収束レンズの強さを変更できるレンズ制御手段を備え、前記測定ビーム電流が一定となるように前記収束レンズの強さを制御することを特徴とする電子ビーム装置。

IPC (4件)：

H01J 37/04 ,  H01J 37/10 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

H01J 37/04 A ,  H01J 37/10 ,  H01J 37/252 A ,  H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-086232
  
• 特開平1-183044
  
• 特開昭58-078356