特許
J-GLOBAL ID：200903065979085869
インクジェットヘッド用ノズル板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098400
公開番号（公開出願番号）：特開平6-286141
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】インクジェットヘッドの性能向上の為、ノズル穴近傍のインク親和性を微小部分で精密に制御する事が重要である。本発明は、これを効率よく、かつ安定して形成する手段を提供するものである。【構成】導電性基板上のノズル穴に相当する位置に、絶縁性の薄層パターンを形成し、該基板上に金属層を鍍金し、該金属層の上面にレジスト剤層を形成し、該金属層を前記導電性基板から剥離すると共に前記絶縁性の薄層パターンを除去し、該剥離及び該除去の工程により露出した前記金属層の面にインク非親和性層を形成し、前記レジスト層を除去して、インクジェットヘッド用ノズル板を製造する。【効果】本発明の製造方法によれば、ノズル穴近傍の表面特性の制御が容易、かつ精度よく達成できる。この結果、むらがなく安定した品質の印字が可能なインクジェットヘッドが得られる。
請求項（抜粋）：
導電性基板上の少なくともノズル穴に相当する位置に、絶縁性の薄層パターンを形成する工程と、該基板上に金属層を鍍金してノズル板を製作する工程と、該金属層の上面側にレジスト剤層を形成する工程と、該金属層を前記導電性基板から剥離すると共に前記絶縁性の薄層パターンを除去する工程と、該剥離及び該除去の工程により露出した前記金属層の面にインク非親和性層を形成する工程と、前記レジスト剤層を除去する工程とよりなることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズル板の製造方法。
引用特許：
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