特許

J-GLOBAL ID：200903065982673178

光束分割装置

発明者： 岸川 康宏 ,  竹内 誠二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-195580
公開番号（公開出願番号）：特開2003-015083
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、光源の光量を正確な検出や制御を可能にする光束分割装置を提供する。【解決手段】 本発明の一側面としての光束分割装置は、所定の偏光状態を有する入射光束から前記所定の偏光状態を有する第1及び第2の分割光束を生成する。かかる光束分割装置は第1及び第2の分割光束を生成するともに、かかる第1及び第2の分割光束の偏光状態を入射光束の偏光状態と同一にすることができる。

請求項（抜粋）：

所定の偏光状態を有する入射光束から前記所定の偏光状態を有する第1及び第2の分割光束を生成する光束分割装置。

IPC (5件)：

G02B 27/28 ,  G02B 5/30 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G02B 27/28 Z ,  G02B 5/30 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 516 C ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (20件)：

2H049BA05 ,  2H049BC21 ,  2H097BB01 ,  2H097CA12 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  2H099AA00 ,  2H099BA17 ,  2H099CA11 ,  2H099CA17 ,  2H099DA09 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CB01 ,  5F046CB07 ,  5F046CB19 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC02