特許
J-GLOBAL ID：200903065990145644
非接触式検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
一色 健輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-111756
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297145
出願日： 1996年05月02日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 被検査体を連続的に搬送して高い生産性を確保しつつ、十分に高い検査精度で検査を実施することができる非接触式検査装置を提供する。【解決手段】 環状の回転テーブル12の内側と外側に、回転テーブル12の回転中心周りに回転する検査機器取付テーブル14を配置する。検査機器取付テーブル14にCCDカメラ32,32a,32b,32cや投光器34,34a、バックライト36を取付ける。回転入力軸48に連続回転駆動カム50と揺動回転駆動カム52とを併設する。連続回転出力軸54を連続回転駆動カム50およびターレット58を介して連続回転させる。揺動回転出力軸56を揺動回転駆動カム52およびターレット62を介して揺動回転させる。揺動回転駆動カム52のカム面の設定により、検査機器取付テーブル14の往路の揺動回転を、回転テーブル12と同期させる。
請求項（抜粋）：
回転自在に設けられ、被検査体を搬送するための回転テーブルと、該回転テーブルに隣接させて、該回転テーブルの回転中心周りに回転可能に設けられ、上記被検査体を検査するための非接触式検査機器が取り付けられた検査機器取付テーブルと、連続回転駆動カムと揺動回転駆動カムとがその軸方向に併設された回転入力軸と、上記連続回転駆動カムに摺接するターレットを介して連続回転される連続回転出力軸と、上記揺動回転駆動カムに摺接するターレットを介して揺動回転される揺動回転出力軸とを備え、上記連続回転出力軸で上記回転テーブルを連続回転駆動するとともに、上記揺動回転出力軸で上記検査機器取付テーブルを揺動回転駆動し、かつ該検査機器取付テーブルが該回転テーブルと同方向に回転駆動されるときに、該検査機器取付テーブルを、該回転テーブルと同期回転させるようにしたことを特徴とする非接触式検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 35/04 A
, G01N 21/90 B
