特許
J-GLOBAL ID：200903065992800330
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070162
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235152
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は高い吸着力をもち、リーク電流を防止することができる静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックは、電極の上下に絶縁層を有する静電チャックにおいて、その吸着面側の絶縁層が吸着面から順に高絶縁体層および高誘電体層の少なくとも2層からなるものであることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
電極の上下に絶縁層を有する静電チャックにおいて、その吸着面側の絶縁層が吸着面から順に高絶縁体層および高誘電体層の少なくとも2層からなるものであることを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, H02N 13/00
