特許
J-GLOBAL ID：200903065994485970

基板処理装置の制御方法

発明者：
森本 徹

森本 徹 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-303458
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129707
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 処理ユニットから警報が発生した場合にも、処理中の基板に対するプロセス上の悪影響を防止する。【解決手段】 複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットが、異常を通知する警報を発生すると、搬送経路において警報発生ユニットまたは所定のスキップモード対象ユニットよりも下流側に位置する基板に対しては、搬送経路を完了するまで処理と搬送を継続する。一方、警報発生ユニットまたはスキップモード対象ユニットよりも上流側に位置する基板については搬送を中止する。
請求項（抜粋）：
処理対象の基板を予め設定された搬送経路に従って複数の処理ユニットに順次搬送しつつ処理する基板処理装置の制御方法であって、前記複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットの異常を通知する警報の発生に応じて、前記搬送経路において警報発生ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記搬送経路を完了するまで処理と搬送とを継続するとともに、前記警報発生ユニットより上流側に位置する基板については搬送を中止するスキップモードを備える、基板処理装置の制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B65G 43/08
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 43/08 E
引用特許：
審査官引用 (5件)
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