特許
J-GLOBAL ID：200903065998695090
形状計測方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-251663
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096606
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 従来法ではレンズの中心位置や光軸の向きなどの光学系のパラメータを形状計算に用いるために、レンズの収差の影響が必ず含まれた結果となる欠点がある。解決すべき課題は、そのレンズの収差の影響が測定に入るために計測結果に歪みが生じることである。【解決手段】 本発明はテレビカメラとプロジェクタとを使用し、そのレンズ収差が影響しない非接触、非破壊形状測定及び装置にある。
請求項（抜粋）：
(1) 2次元格子が描かれた基準平面を該平面と直角方向に平行移動できるよう1軸テーブル上に設置する工程と、(2) テレビカメラを前記の2次元格子が写る位置に設置する工程と、(3) 格子投影装置を前記の2基準平面に格子が投影できる位置に設置する工程と、(4) 複数の位置における基準物体に描かれた2次元格子を撮影した画像から位相値分布を計算してその結果をコンピュータメモリーに記録する工程と、(5) 複数の位置における基準物体に格子投影装置から投影された2次元格子を撮影した画像を位相値データに変換してコンピュータメモリーに記録する工程と、(6) 試料物体上に格子投影装置から投影された2次元格子を撮影し、それぞれの画素について、その画素の画面内座標と投影格子の位相値および位相値分布計算メモリーと撮影画像より変換した位相値データメモリーとで記録されたデータからその画素に写されている測定対象物上の点の空間座標を算出する工程との各工程の組合せよりなることを特徴とする形状計測方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 11/24
, G03B 21/00
G01B 11/00 H
, G01B 11/24 K
, G03B 21/00 D
