特許

J-GLOBAL ID：200903066007503969

搬送装置

発明者： 武田 洋幸 ,  中村 秀樹
出願人/特許権者： 光洋サーモシステム株式会社 ,  千住金属工業株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-053824
公開番号（公開出願番号）：特開2002-255329
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 被処理物が傷つくことのない搬送装置を提供する。【解決手段】 少なくとも一対のビーム3,4を備えたウォーキングビーム式搬送装置である。各ビーム3,4上に多数の被処理物支持用垂直ピン5,6が直列に設けられ、垂直ピン5,6の上面が傾斜しているとともに被処理物支持部A,Bの対応する垂直ピン5,6の上面の向きが異なるように配されている。

請求項（抜粋）：

少なくとも一対のビームを備えたウォーキングビーム式搬送装置において、各ビーム上に多数の被処理物支持用垂直ピンが直列に設けられ、垂直ピンの上面が傾斜しているとともに被処理物支持部の対応する垂直ピンの上面の向きが異なるように配されていることを特徴とするウォーキングビーム式搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 25/02 ,  B65G 49/06 ,  F27B 9/24 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 25/02 F ,  B65G 49/06 Z ,  F27B 9/24 W ,  H01L 21/68 A

Fターム (12件)：

3F036BA01 ,  3F036BA03 ,  3F036CA04 ,  4K050AA02 ,  4K050BA17 ,  4K050CG14 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031GA52 ,  5F031NA02