特許

J-GLOBAL ID：200903066009684693

液体供給装置とその方法

発明者： 熊谷 長久 ,  佐々木 一真
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-295195
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139334
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、液体供給装置とその方法に関し、圧力変動をなくし、装置の小型化、省スペース化を実現する。【解決手段】 間欠的に液体11をユースポイントに供給する液体供給タンク1と、該液体供給タンク1より容量が小さい補助液体供給タンク2とを有し、該液体供給タンク1と該補助液体供給タンク2内の液体11同士と該液体11上部の気体12同士とがそれぞれ液体連結管13、気体連結管14とにより連結されてなる液体供給装置15を用い、該液体供給タンク1の内部に設けた液面検出器10により、該液体供給タンク1に外部から液体11を供給する間、該補助液体供給タンク2より液体11をユースポイントに供給する。

請求項（抜粋）：

間欠的に液体をユースポイントに供給する液体供給タンクと、液体供給タンクより容量が小さい補助液体供給タンクと、該液体ポンプと該補助液体ポンプとの液体部分同士を連結する液体連結管と、該液体部分上部の気体部分同士を連結する気体連結管と、該液体供給タンク内の液面レベルを検出する液面センサと、該液体供給タンク内に液体を供給する液体供給管と、該液体供給タンク内の液体をユースポイントに圧送する気体供給管と、該液体供給タンク内の圧力調整を行う補助圧力供給管とを有してなることを特徴とする液体供給装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 341

FI (4件)：

H01L 21/30 569 C ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/30 569 F