特許
J-GLOBAL ID：200903066010731875
酸素センサのヒータ構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-036545
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229900
出願日： 1996年02月23日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】窒化珪素よりなるヒータから昇華する珪素が電極に付着して電極の有効面積を減少させることを防止する。【解決手段】酸素センサ1は酸素に反応する筒状の素子4と、その素子4の内外両側面にそれぞれ設けられた白金よりなる内電極7及び外電極8と、素子4の内部に配置され、自身が昇温することにより素子4を加熱する窒化珪素よりなるヒータ5とを備える。内電極7と対向するヒータ4の表面に設けられた被覆層10は、内電極7と同じ白金よりなる。従って、ヒータ5の昇温時にはヒータ5を構成する珪素が昇華して内電極7に付着することはない。ヒータ5の昇温時に被覆層10の白金が昇華したとしても、内電極7と同じ物質よりなる白金が同電極7に付着することになる。
請求項（抜粋）：
酸素に反応する筒状の素子と、その素子の内外両側面にそれぞれ設けられた電極と、前記素子の内部に配置され、自身が昇温することにより前記素子を加熱する窒化珪素よりなるヒータとを備えた酸素センサのヒータ構造において、前記ヒータが昇温するときに同ヒータから珪素が昇華することを抑止するための抑止手段を設けたことを特徴とする酸素センサのヒータ構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 27/46 325 H
, G01N 27/58 B
