特許

J-GLOBAL ID：200903066015699554

レーザ加工装置

発明者： 津田 樹宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-196427
公開番号（公開出願番号）：特開平11-028592
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 被加工物の温度変化に起因する加工精度低下を防止することのできるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 本レーザ加工装置においては、被加工物(ウェハ1)を保持するホルダ2に、温度を一定に維持する温調機構18を設けた。さらに、加工前のウェハを待機させる待機部14に、温度を一定に維持する温調機構19を設けた。そして、ホルダ2等に設置したウェハ1の温度を設定値の温度にするようにした。そのため、機内の温度差によって徐々にウェハが変位することがなく、精度を保った加工が可能になる。

請求項（抜粋）：

被加工物にレーザを照射して加工するレーザ加工装置において;被加工物を保持するホルダに、温度を一定に維持する温調機構を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (5件)：

B23K 26/10 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/12 ,  H01L 21/68 ,  B23K 31/00

FI (6件)：

B23K 26/10 ,  B23K 26/00 H ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/12 ,  H01L 21/68 N ,  B23K 31/00 J