特許
J-GLOBAL ID：200903066027433053
半田付け状態の外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307380
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142157
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】 レーザ光の死角を無くして外観検査の検査精度の向上を図れ、またチップの上面と基板の上面をカメラの視野に同時に取り込んで半田付け状態の外観検査を行える外観検査装置を提供する。【構成】 上方から基板Sにレーザ光6を照射するレーザ装置4と、このレーザ光6を扇形のスリット光6aに変換する光学素子8と、この扇形のスリット光6aを平行なスリット光6bに再変換する光学素子11と、基板Sに照射された平行なスリット光6bの反射光6cを斜め上方から観察するカメラ12と、これらのレーザ装置4とカメラ12を一体的に上下動させる駆動手段20とから半田付け状態の外観検査装置を構成した。
請求項（抜粋）：
上方から基板にレーザ光を照射するレーザ装置と、このレーザ光を扇形のスリット光に変換する光学素子と、この扇形のスリット光を平行なスリット光に再変換する光学素子と、上記レーザ装置と一体的に組み付けられて基板に照射された平行なスリット光の反射光を斜め上方から観察するカメラと、これらのレーザ装置とカメラを一体的に上下動させる駆動手段を備えたことを特徴とする半田付け状態の外観検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G03B 19/00
, H05K 3/34
