特許

J-GLOBAL ID：200903066031053940

ウェットエッチング用カーボン電極及びアルミ電解箔のエッチング方法

発明者： 弘中 慎太郎 ,  菊池 好洋
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338328
公開番号（公開出願番号）：特開平9-176900
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】 エッチングのバラツキを改善することができ、エッチング効率を高めることができるウェットエッチング用カーボン電極及びエッチングのバラツキを改善することができ、エッチング効率を高めたアルミ電解箔のエッチング方法を提供する。【解決手段】 不浸透化した複数の黒鉛板の間に金属板又は金属網を介在させ、前記黒鉛板の間の少なくとも電解液に浸漬させる部分をシールしてなるウェットエッチング用カーボン電極及びこのウェットエッチング用カーボン電極を電極として用いることを特徴とするアルミ電解箔のエッチング方法。

請求項（抜粋）：

不浸透化した複数の黒鉛板の間に金属板又は金属網を介在させ、前記黒鉛板の間の少なくとも電解液に浸漬させる部分をシールしてなるウェットエッチング用カーボン電極。

IPC (3件)：

C25F 7/00 ,  C23F 1/00 ,  H01G 9/04 304

FI (4件)：

C25F 7/00 S ,  C25F 7/00 L ,  C23F 1/00 Z ,  H01G 9/04 304