特許
J-GLOBAL ID：200903066032011574
基板処理装置における基板受け渡し装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-180743
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163670
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 カセット8内と基板搬送ロボット4との間で基板9を受け渡す際に、基板受け渡し具による処理済み基板の汚染を防止する。【構成】 基板受け渡し具17の基板載置部18を、それぞれ基板9を起立整列状態で保持する第1の基板載置部分38と第2の基板載置部分39とから構成する。上記第1の基板載置部分38と第2の基板載置部分39とを駆動装置37により相対的に昇降切り換え可能に構成し、上昇位置にある一方の基板載置部分により基板9を保持するように構成する。未処理基板9の受け渡しと処理済み基板9の受け渡しとで、第1の基板載置部分38と第2の基板載置部分39とを切り換えることにより、処理済み基板9の汚染を防止する。
請求項（抜粋）：
複数の基板を起立整列状態で収容するカセットを載置するカセット載置テーブルと、基板受け渡し具と、基板処理部と、基板搬送ロボットとを備え、上記カセット載置テーブルに上記カセットの下開口部に臨む受け渡し具挿通孔をあけ、この受け渡し具挿通孔の下方に上記基板受け渡し具を起立状に設け、この基板受け渡し具の上端部に複数の基板を起立整列状態で保持する基板載置部を設け、この基板受け渡し具とカセット載置テーブルとを相対的に昇降させて、上記基板受け渡し具の基板載置部で複数の基板を起立整列状態のまま保持して、上記カセット内と上記基板搬送ロボットとの間で複数の基板を一括して受け渡し可能に構成した基板処理装置において、上記基板受け渡し具の基板載置部は、それぞれ基板を起立整列状態で保持する第1の基板載置部分と第2の基板載置部分とから成り、上記第1の基板載置部分と第2の基板載置部分とを駆動装置により相対的に昇降切り換え可能に構成し、上昇位置にある一方の基板載置部分により基板を保持するように構成したことを特徴とする基板処理装置における基板受け渡し装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00
, B65G 49/07
, H01L 21/22
