特許

J-GLOBAL ID：200903066048977290

除振装置及び露光装置

発明者： 大崎 達哉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247554
公開番号（公開出願番号）：特開平11-082609
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】ケーブルおよびホースの影響を受けることなく、外乱振動の抑制(制振)効果を向上させることができる除振装置及びこれを備えた露光装置を提供することにある。【解決手段】本発明の除振装置は、台座(2)に対して除振部材(4A〜4D)を介して取り付けられた除振対象物(40)と、前記除振対象物に接続されたケーブル(41,45)と、を含み、前記ケーブルの張カのベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転モーメントの回転中心(O)が位置している。また本発明の露光装置は マスクに形成されたパターンを投影光学系を介して感光基板に投影露光する露光装置本体(40)と、台座(2)と前記露光装置本体とを連結する除振部材(4A〜4D)と、前記露光装置本体に接続されたケーブル(41,45)と、を含み、前記ケーブルの張力のベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転モーメントの回転中心(O)が位置している構成である。

請求項（抜粋）：

台座に対して除振部材を介して取り付けられた除振対象物と、前記除振対象物に接続されたケーブルと、を含む除振装置において、前記ケーブルの張力のベクトルの延長線上近傍に、前記除振対象物の回転モーメントの回転中心が位置していることを特徴とする除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 503 F