特許
J-GLOBAL ID：200903066049578322
圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115100
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307834
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 <001>配向が多い圧電体素子を提供する。【解決手段】 下部電極(32)および上部電極(43)との間に、高分子有機材料を含まない前駆体から形成された第1層の圧電体薄膜(41)と高分子有機材料を含む前駆体から形成された第2層の圧電体薄膜(42)とを備える。第1層(41)は<001>配向の割合が多く結晶するがクラックが発生し易いため薄い。第2層(42)は高分子有機材料を含むのでクラックを発生せず厚膜化が可能であり、多くの結晶粒(44)を有する。結晶成長の際、第1層(41)の結晶構造を引き継いで結晶が成長するので、全体としても<001>配向が多くなり、圧電特性が改善される。
請求項（抜粋）：
下部電極および上部電極に挟持された圧電体薄膜を備える圧電体素子において、前記圧電体薄膜は、前記下部電極上に形成される、微結晶粒密度が低い第1層と、前記第1層上に形成され、微結晶粒密度が高い第2層と、を備えていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/187
, H01L 41/22
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/18 101 D
, H01L 41/22 Z
