特許

J-GLOBAL ID：200903066052823974

ブラシスクラブ洗浄方法および装置

発明者： 大柴 久
出願人/特許権者： 富士フイルムマイクロデバイス株式会社 ,  富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099678
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310481
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウエハブラシスクラブ洗浄に関し、半導体ウエハ両面の全面を洗浄することのできるブラシスクラブ洗浄技術を提供することを目的とする。【構成】 半導体ウエハをウエハ保持治具で保持し、ブラシを回転させながら半導体ウエハ表面をスクラビングするブラシスクラブ洗浄方法において、半導体ウエハを相対する第1のエッジ部分で保持し、第1のブラシスクラビングする工程と、半導体ウエハの保持位置を第1のエッジ部分と重複しない相対する第2のエッジ部分で保持し、第2の変えて2回以上ブラシスクラビングする工程とを含む。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハをウエハ保持治具で保持し、ブラシを回転させながら半導体ウエハ表面をスクラビングするブラシスクラブ洗浄方法において、半導体ウエハを相対する第1のエッジ部分で保持し、第1のブラシスクラビングする工程と、半導体ウエハの保持位置を第1のエッジ部分と重複しない相対する第2のエッジ部分で保持し、第2の変えて2回以上ブラシスクラビングする工程とを含むブラシスクラブ洗浄方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 1/04 ,  H01L 21/68