積層型圧電アクチュエータ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-183943
公開番号（公開出願番号）：特開2000-022230
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】温度および印加荷重が変化しても安定した変位量が得られる積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電板11と複数の金属薄板13とを交互に積層し、圧電板11と金属薄板13とを金属とガラスを主成分とする導電性接着剤14により加熱接合してなるとともに、金属薄板13を交互に電気的に接続した積層型圧電アクチュエータにおいて、金属薄板13の表面に酸化ニッケル膜17が形成されている。

請求項（抜粋）：

複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互に積層し、前記圧電板と前記金属薄板とを金属とガラスを主成分とする導電性接着剤により加熱接合してなるとともに、前記金属薄板を交互に電気的に接続した積層型圧電アクチュエータにおいて、前記金属薄板の表面に酸化ニッケル膜を形成してなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H01L 41/083 , F02M 51/06

FI (2件)：

H01L 41/08 Q , F02M 51/06 N

Fターム (9件)：

3G066AB02 , 3G066BA54 , 3G066BA67 , 3G066CC05U , 3G066CD21 , 3G066CD30 , 3G066CE27 , 3G066CE30 , 3G066CE31

前のページに戻る