特許
J-GLOBAL ID：200903066074872901
液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-302308
公開番号（公開出願番号）：特開2003-291343
出願日： 2002年10月16日
公開日（公表日）： 2003年10月14日
要約：
【要約】【課題】 圧電素子の湿気等の外部環境に起因する動作不良を防止でき且つ小型化を図ることができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】 液体を吐出するノズル開口21に連通する圧力発生室12が画成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、流路形成基板10の圧電素子300側の面に、圧電素子300に対向する領域に空間を確保した状態で空間を密封する圧電素子保持部32を有する封止基板30を有し、且つ封止基板30の圧電素子保持部32の周縁部の少なくとも一部が、ガラスからなるガラス接合層110を介して流路形成基板10に接合して、圧電素子保持部32内に水分が侵入するのを防止する。
請求項（抜粋）：
液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に、前記圧電素子に対向する領域に空間を確保した状態で当該空間を密封する圧電素子保持部を有する封止基板を有し、且つ該封止基板の前記圧電素子保持部の周縁部の少なくとも一部が、ガラスからなるガラス接合層を介して前記流路形成基板に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (8件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/08
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/187
, H01L 41/22
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 D
, H01L 41/08 U
, H01L 41/22 Z
, H01L 41/18 101 D
, H01L 41/18 101 Z
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AG75
, 2C057AP02
, 2C057AP25
, 2C057AP34
, 2C057AP52
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
出願人引用 (2件)
審査官引用 (12件)
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