特許
J-GLOBAL ID:200903066085757829

固体の共振モード検出方法および装置、並びに固体の弾性定数測定方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 村上 友一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-005042
公開番号(公開出願番号):特開2003-207390
出願日: 2002年01月11日
公開日(公表日): 2003年07月25日
要約:
【要約】【課題】 得られた共振周波数の共振モードを求めることができるようにする。【解決手段】 送信器34bから固体の試料12に超音波を与えて共振周波数で振動させる。レーザ干渉計48を試料12の表面に沿って走査し、試料12の表面の振動速度を求める。振幅分布検出部50は、レーザ干渉計48が求めた振動速度を共振周波数で割って振動振幅を求めるとともに、試料表面における振動振幅の分布を求める。共振モード演算部56は、仮定した弾性定数を用いて共振周波数を求めるとともに、その共振周波数における試料表面の振動振幅の分布を演算する。比較判定部58は、測定した振動振幅分布を演算した振動振幅分布と比較し、試料12を振動させた共振周波数における共振モードを特定する。弾性定数演算部20は、特定された共振モードに基づいて、共振周波数が得られる弾性定数を演算する。
請求項(抜粋):
所定形状の固体を共振周波数によって振動させ、固体表面における法線方向の振動振幅の分布を測定するとともに、前記固体の寸法、密度と、仮定した弾性定数とに基づいて、前記固体の各振動モードについての共振周波数と、この共振周波数による前記固体表面における法線方向の振動振幅の分布とを演算し、演算した振動振幅の分布と前記測定した振動振幅の分布とを比較して、前記固体を振動させた共振周波数の共振モードを求める、ことを特徴とする固体の共振モード検出方法。
IPC (2件):
G01H 13/00 ,  G01N 29/00
FI (2件):
G01H 13/00 ,  G01N 29/00
Fターム (16件):
2G047AA06 ,  2G047AA08 ,  2G047AA09 ,  2G047BA04 ,  2G047BC04 ,  2G047BC14 ,  2G047BC20 ,  2G047CB03 ,  2G047GF10 ,  2G047GF11 ,  2G047GG27 ,  2G064AB02 ,  2G064AB09 ,  2G064AB11 ,  2G064CC54 ,  2G064DD23
引用文献:
前のページに戻る