特許
J-GLOBAL ID：200903066102213137
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082233
公開番号（公開出願番号）：特開平11-283900
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 近年、露光装置は、ウェハの大型化や処理速度の高速化、処理技術の高精度化が図られており、これに対応して露光装置自体が大型化、大重量化されるとともに配管や配線コードが装置周辺に複雑に取り回される傾向が強い。【解決手段】 光源や照明光学系等を、中空部が形成された第1架台3、第2保持部材8、第1ベース9、第2ベース5、第2架台11等の構成材で保持し、構造体に接続される配管18、19や配線コード22等を各中空部に配置することで、露光装置の小型化、軽量化を図るとともに装置周辺の煩雑さを解消する。さらに各中空部に冷却作用を有する流体を流すことで、露光装置周辺の温度上昇に伴う気圧の変動や空気の揺らぎを防止して精度の高い露光を実現する。また、各中空部に制振材13を充填することで、露光装置に生じる振動を抑制し、露光の精度と安定性の向上を図る。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源とマスクとの間に配置される照明光学系とを含む複数の構造体からなり、前記マスクのパターンを基板上に転写する露光装置において、前記複数の構造体の少なくとも一部を、中空部が形成された構成材で保持することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 515 Z
, G03F 7/22 Z
