特許

J-GLOBAL ID：200903066120054801

膜形成用組成物、膜の形成方法および有機膜

発明者： 西川 通則 ,  篠原 宣康 ,  岡田 敬 ,  山田 欣司
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-192322
公開番号（公開出願番号）：特開2003-003047
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 半導体素子などにおける層間絶縁膜材料として、2.5以下の比誘電率を示し、かつ塗膜弾性率、低吸湿性及び耐クラック性に優れる塗膜が得られる膜形成用組成物を得る。【解決手段】 (A)芳香族ポリアリーレンおよび芳香族ポリアリーレンエーテルもしくはいずれか一方、(B)有機溶剤ならびに(C)フラーレンおよびカーボンナノチューブもしくはいずれか一方を含有することを特徴とする膜形成用組成物。

請求項（抜粋）：

(A)芳香族ポリアリーレンおよび芳香族ポリアリーレンエーテルもしくはいずれか一方、(B)有機溶剤ならびに(C)フラーレンおよびカーボンナノチューブもしくはいずれか一方を含有することを特徴とする膜形成用組成物。

IPC (6件)：

C08L 65/00 ,  C08J 5/18 CEZ ,  C08K 3/04 ,  C08K 5/00 ,  C08L 71/12 ,  H01L 21/312

FI (6件)：

C08L 65/00 ,  C08J 5/18 CEZ ,  C08K 3/04 ,  C08K 5/00 ,  C08L 71/12 ,  H01L 21/312 A

Fターム (29件)：

4F071AA69 ,  4F071AA69X ,  4F071AB03 ,  4F071AC07 ,  4F071AC12 ,  4F071AE16 ,  4F071AE19 ,  4F071AE22 ,  4F071AF04 ,  4F071AF20 ,  4F071AF36 ,  4F071AF40 ,  4F071AH12 ,  4F071AH13 ,  4F071BA02 ,  4F071BB02 ,  4F071BC02 ,  4J002CE001 ,  4J002CH071 ,  4J002DA016 ,  4J002DA036 ,  4J002FD106 ,  4J002FD206 ,  4J002HA05 ,  4J002HA08 ,  5F058AA04 ,  5F058AB10 ,  5F058AF04 ,  5F058AH02