特許
J-GLOBAL ID：200903066129764127
圧電素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083854
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275885
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 1枚の圧電膜を用いた簡単な構造であるにも拘らず、より大きな機械的変位を得ることができるようにする。【構成】 円板形状の圧電膜21の上面中心部および下面中心部には円形状の上部中心電極22および下部中心電極23が設けられ、圧電膜21の上面周辺部および下面周辺部にはリング状の上部周辺電極24および下部周辺電極25が設けられている。圧電膜21には矢印で示すように膜厚方向であって上向きの自発分極が形成されている。そして、一対の中心電極22、23間に圧電膜21の自発分極の方向と逆方向の電界が形成されるように電圧を印加するとともに、一対の周辺電極24、25間に圧電膜21の自発分極の方向と同方向の電界が形成されるように電圧を印加すると、圧電膜21の中心部では伸び、周辺部では縮むことになり、より大きな機械的変位が得られることになる。
請求項（抜粋）：
自発分極の方向を単一の方向とされた圧電膜と、前記圧電膜の両面の互いに対応する一の部位に設けられた一対の第1の電極と、前記圧電膜の両面の互いに対応する他の部位に設けられた一対の第2の電極とを具備し、前記一対の第1の電極間と前記一対の第2の電極間とに互いに逆方向の電界を印加するようにしたことを特徴とする圧電素子。
IPC (2件)：
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