特許

J-GLOBAL ID：200903066144373916

単一の有機金属前駆体からの化学的蒸着

発明者： バロン,アンドリユー・アール ,  パワー,マイケル・ビー ,  マツクインズ,アンドリユー・エヌ ,  ヘツプ,アロイシウス・エフ ,  ジエンキンズ,フイリツプ・ピー
出願人/特許権者： プレジデント・アンド・フエローズ・オブ・ハーバード・カレツジ ,  ナシヨナル・エアロノーテイクス・アンド・スペイス・アドミニストレイシヨン
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-502451
公開番号（公開出願番号）：特表平8-504057
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】支持体上に不動態化/緩衝フィルムを形成する方法を開示する。この方法は、揮発した有機金属前駆体を熱分解し、これにより不動態化/緩衝フィルムを支持体上に形成するために十分な温度に支持体を加熱することを含む。有機金属前駆体を前駆体源において揮発させる。キャリヤーガスをキャリヤーガス源から前駆体源を横切って向けて、揮発した前駆体を前駆体源から支持体へ運ぶ。揮発した前駆体は熱分解しそして支持体上に析出し、これにより不動態化/緩衝フィルムを支持体上に形成する。不動態化/緩衝フィルムは立方晶系相の不動態化/緩衝フィルムであることができる。酸化物層を、また、不動態化/緩衝フィルム上に形成し、これにより支持体、不動態化/緩衝フィルムおよび酸化物層から構成された複合体を形成することができる。本発明の方法により形成された立方晶系相の不動態化/緩衝フィルムは、格子が支持体と合致することができる。本発明の方法により形成された不動態化/緩衝フィルムを含む、電子または電気光学的回路または回路素子を形成することができる。

請求項（抜粋）：

工程: a)単一の有機金属化合物から本質的に成る揮発した前駆体を熱分解させかつ揮発した前駆体を支持体上に析出させるために十分な温度に、支持体を加熱し、 b)前駆体を前駆体源において揮発させ、そして c)キャリヤーガスをキャリヤーガス源から前駆体源を横切って向けて、揮発した前駆体を前駆体源から支持体へ運び、ここで揮発した前駆体を熱分解しかつ支持体上に析出させ、これにより前記支持体上に不動態化フィルムを形成する、からなる支持体上に不動態化フィルムを形成する方法。

IPC (3件)：

H01L 21/314 ,  C23C 16/30 ,  H01L 21/285