特許
J-GLOBAL ID：200903066144943933
基板洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-398362
公開番号（公開出願番号）：特開2005-159191
出願日： 2003年11月28日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】基板にダメージを与えたり基板表面にウォータマークを生じさせたりせずに、基板を洗浄し乾燥することができる基板洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄液を用いて基板を洗浄する洗浄部と、この洗浄部で洗浄された基板を乾燥する乾燥部とを有する枚葉式の基板洗浄装置の構成として、乾燥部は、基板6の被洗浄面に対向する状態で配置された一対のノズルユニット5と、一対のノズルユニット5の間を通過するように基板6を水平移動させる搬送アーム14とを有し、ノズルユニット5は、被洗浄面に噴霧状の乾燥用溶媒を吹き付ける第1のノズル部7と、この第1のノズル部7によって乾燥用溶媒の吹き付けがなされた被洗浄面にドライエアーを吹き付ける第2のノズル部8とを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
洗浄液を用いて基板を洗浄する洗浄部と、前記洗浄部で洗浄された前記基板を乾燥する乾燥部とを有する枚葉式の基板洗浄装置であって、
前記乾燥部は、前記基板の被洗浄面に対向する状態で配置された基板乾燥用のノズルユニットと、前記ノズルユニットと前記基板を相対的に移動させる移動手段とを有し、
前記ノズルユニットは、前記被洗浄面に噴霧状の乾燥用溶媒を吹き付ける第1のノズル部と、前記第1のノズル部によって前記乾燥用溶媒の吹き付けがなされた前記被洗浄面にドライエアーを吹き付ける第2のノズル部とを有する
ことを特徴とする基板洗浄装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/304 651G
, H01L21/304 651L
