面内分布測定方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043946
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258259
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】電磁波の照射領域よりも遥かに小さい領域の分解能で、試料に関する物理量の面内分布を非破壊で測定する手法及び装置を提供する。【構成】電磁波発生源1から出射された電磁波3は、スリット2により成型された後、試料4に視斜角θで入射する。試料により反射された電磁波を一次元位置感応型の電磁波検出器9により測定する。測定した電磁波5の強度或は波長から適宜な解析処理により、一次元位置感応型検出器の一素子に入射した電磁波5に対応する試料上の領域の平均した物理量が得られる。次に試料の注目している面の法線方向を中心軸として所定角度試料を回転させ、同様な測定から試料の物理量が得られる。これを試料の回転が180度になるまで繰り返す。これらの一連の測定から、コンピュータートモグラフィーのアルゴリズムにより該物理量の面内分布が得られる。

請求項（抜粋）：

相互の位置関係が特定されている多数の方向から電磁波を試料に対して入射すること、前記多数の入射電磁波に対応して前記試料から反射した多数の反射電磁波を検出手段により一連に測定すること、前記検出手段により検出された多数の反射電磁波及び前記入射電磁波の相互位置関係に基づいてデータ演算解析処理により前記電磁波の照射領域より小さい領域に対応する試料の物理量を求め、且つ試料の被測定領域全面にわたって前記小領域毎に前記物理量を求めることにより該物理量の試料の面内分布を得ることを特徴とする面内分布測定方法。

IPC (2件)：

G01N 23/20 , G21K 1/06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平3-022582
特開昭64-006850
特公平1-036061

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