特許
J-GLOBAL ID：200903066154810737
チップの供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134694
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330626
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 装置を小型化して設置スペースの省スペース化が図れるマルチテーブル型のチップの供給装置を提供する。【構成】 支柱2に上下方向に互いに間隔をおいて軸着されて、各々が水平方向に回動自在な複数個のチップPの載置用のテーブル10と、各テーブル10を個別に回動させる回動手段14とを設け、支柱2の一側部を各テーブル10を積層状態で待機させる待機ステージaとし、また待機ステージaから所定角度の回動位置をピックアップステージbとし、積層されたテーブル10を上下動させてこの移載ヘッド18によるピックアップ位置Qと同一高さにすることにより所望のチップPが載置されたテーブル10を選択し、このテーブル10を待機ステージaとピックアップステージbの間を回動させるようにした。
請求項（抜粋）：
支柱と、この支柱に上下方向に互いに間隔をおいて軸着されて、各々が水平方向に回動自在な複数個のチップ載置用のテーブルと、各々のテーブルを個別に回動させる回動手段とを備え、上記支柱の一側部を各々のテーブルを積層状態で待機させる待機ステージとし、またこの待機ステージから所定角度の回動位置を移載ヘッドによるチップのピックアップステージとし、且つ積層状態の上記テーブルを上下動させてこの移載ヘッドによるピックアップ位置と同一高さにすることにより所望のチップが載置されたテーブルを選択する選択手段を設け、この待機ステージとピックアップステージの間を、前記選択手段にて選択されたテーブルを前記回動手段の駆動により往復回動させるようにしたことを特徴とするチップの供給装置。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭61-270895
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特開昭61-270895
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