光ビーム偏向器

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-012773
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152575
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】構造が簡素で、組立も容易な小型化および低コスト化が実現できる高速応答性が良い、さらにはビームシフト問題が解消された光ビーム偏向器を提供する。【構成】一定方向に進行する光ビームを反射によりその方向を変える反射板を備えた光ビーム偏向器において、前記光ビームを反射する反射ミラーを有する反射板と前記反射ミラーを駆動する1つの圧電素子と、前記圧電素子の変位を前記反射ミラーに拡大・伝達し、反射板の回転軸つまり、回転中心を、反射部の中央に持ち反射ミラー表面の中央を回転中心として反射ミラーの反射面が回動するように変位拡大・伝達機構を備えており、あるいはさらに反射ミラーの回転中心が反射ミラー表面の面内に位置するよう設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光ビームの方向を反射により変える反射ミラーを備えた光ビーム偏向器において、(イ)反射域の中央部を回動中心として反射域を回動可能に支持する機構を持つ反射部、(ロ)該反射部を回動させる駆動源となる変位を発生させる圧電素子、(ハ)前記圧電素子に信号を送信し、圧電素子の変位を制御する圧電素子制御部、(ニ)該圧電素子の変位を拡大して該反射部に伝達する変位拡大・伝達機構、以上の(イ)から(ニ)のそれぞれを具備することを特徴とする光ビーム偏向器。

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