特許

J-GLOBAL ID：200903066165123464

可変波長半導体レーザ光源

発明者： 長島 伸哉
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-257139
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097792
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 可変波長半導体レーザ光源において、設定のたびに波長計で出射光波長を測定して確認しないでも、設定波長確度を、±0.01nm程度に向上する。【解決手段】 外部共振器型半導体レーザ光源部1、外部共振器長を可変する駆動部2、該駆動部2と半導体レーザ駆動電流を制御する制御部3、から構成される可変波長半導体レーザ光源において、出力光を一方の入射光として2分岐出力する光カプラ4、5、6と、光カプラ5からの出力光を入射して入射光波長に対応した角度で光を出力する音響光学素子7と、該音響光学素子7を駆動させる発振器8と、光の入射位置を検出して制御部3へと送信する受光器アレイ部9と、光カプラ6からの出力光を入射するエタロン10と、光カプラ6からの出力光とエタロン10からの透過光の光強度を比較してエタロン10の透過率を求め、該エタロン10の透過率を制御部3へ送信する透過率測定部11と、を設ける。

請求項（抜粋）：

外部共振器型半導体レーザ光源部と、外部共振器長を可変する駆動部と、該駆動部と半導体レーザ駆動電流を制御する制御部と、から構成される可変波長半導体レーザ光源において、前記外部共振器型半導体レーザ光源部からの出力光を一方の入射光として2分岐出力する第1の光カプラと、該第1の光カプラからの一方の出力光を入射して2分岐出力する第2の光カプラと、該第2の光カプラからの一方の出力光を入射して更に2分岐出力する第3の光カプラと、前記第2の光カプラからの他方の出力光を入射して入射光波長に対応した角度で光を出力する音響光学素子と、該音響光学素子を駆動させる発振器と、前記音響光学素子からの光の入射位置を検出して、該入射位置を前記制御部へと送信する受光器アレイ部と、前記第3の光カプラからの一方の出力光を入射するエタロンと、前記第3の光カプラからの他方の出力光と前記エタロンからの透過光の光強度を比較して前記エタロンの透過率を求め、該エタロンの透過率を前記制御部へ送信するエタロン透過率測定部と、を備えたことを特徴とする可変波長半導体レーザ光源。