特許

J-GLOBAL ID：200903066166148983

検査装置

発明者： キング,スティーブン,ジョセフ ,  ルドロウ,ジョナサン,エドマンド ,  チョウィナルド,ジョン ,  シュール,ジョージ
出願人/特許権者： アキュイティー イメージング エルエルシー
代理人 (1件)： 足立 勉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-537620
公開番号（公開出願番号）：特表2002-513470
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月08日
要約：

【要約】電子部品又は他の突出した表面又は物体上のはんだ球のような、一又はそれ以上の反射要素(12)を照らす環状照明要素(20)を有する検査システム。環状照明装置(20)は、一又はそれ以上の反射要素(12)を横断して均一な照明を付与するほぼ環状の光源(24)を備える。照明検知装置(30)は、反射像を形成するために、照明反射要素(12)から反射した光束(32)を検出する。各々の反射要素の有無、位置、ピッチ、サイズ、及び形状のような性質を特定する装置を使用する方法が述べられている。

請求項（抜粋）：

照明検知装置の視野に配置され、被検査物品のほぼ平坦な表面に取付けられた複数の反射要素を照らすための環状照明装置において、 該環状照明装置は、 予め定められた直径を有するほぼ環状の光源であって、複数の光束を発生する光源と、 前記ほぼ環状の光源によって発せられた前記複数の光束を、前記物品の前記ほぼ平坦な表面に対して、照明の角度範囲で前記視野にある前記物品へ方向づける手段と、 を備え、 前記照明の角度範囲で方向づけられた前記光束は、前記被検査物品の前記ほぼ平坦な表面に当たった前記複数の光束のいずれも、前記照明検知装置に反射しないように、前記視野を横断して被検査物品上の前記複数の反射要素にほぼ均一な照明を行うことを特徴とする照明装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/84

FI (3件)：

G01N 21/956 A ,  G01N 21/84 E ,  G01B 11/24 F