特許
J-GLOBAL ID:200903066167667364

チオール化合物およびその化合物を用いた感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 大家 邦久 ,  小澤 信彦 ,  林 篤史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-309590
公開番号(公開出願番号):特開2006-151958
出願日: 2005年10月25日
公開日(公表日): 2006年06月15日
要約:
【課題】高感度で、アルカリ現像時の細線パターンの線幅保持性、すなわち現像マージンに優れる感光性組成物を提供する。【解決手段】式(1)(式中、R1〜R4、Xおよびnは明細書中の記載と同じ。)で示されるチオール化合物、その製造方法およびその化合物を用いた感光性組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
式(1)
IPC (4件):
C07C 323/52 ,  C07C 319/12 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/004
FI (4件):
C07C323/52 ,  C07C319/12 ,  G03F7/028 ,  G03F7/004 503Z
Fターム (28件):
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB01 ,  2H025AB09 ,  2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA02 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA31 ,  2H025CB43 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006AC48 ,  4H006BA52 ,  4H006BA66 ,  4H006BB11 ,  4H039CA66 ,  4H039CD30
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献:
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