特許
J-GLOBAL ID：200903066171222040
アウターリードのボンディングツール
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-081039
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283483
出願日： 1992年04月02日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】ボンディングツールの取り付け軸に冷却機能を備え、発熱体を取り付けてあるツールヘッド以外に、発熱体からの熱が伝達されることを防止する。【構成】ボンディングツール1の取り付け軸2の軸円心に、冷却媒体を流し込むための注入穴3を設け、またその流し込まれた冷却媒体を流出するために、取り付け軸2の下部位置に、四方に2箇所づつ流出穴4を設けたものである。また、ボンディングツール1をツール保持具5に取り付けるには、取り付け軸2をツール保持具5の取り付け穴6へ挿入し、把握機能などにより固定される。【効果】ボンディングツールの取り付け軸2に常時冷却媒体を流しているためこれが冷却機能となり、発熱体7の熱はツールヘッド8のみを加熱し、ツールヘッド8以外の部分には熱伝達されることを防止している。このため、熱による変形はないので信頼性の向上につながる。
請求項（抜粋）：
フレキシブル基板のアウターリードとリードフレームのリード同士を一括接合する、ボンディング装置の構成の一部であるボンディングツールにおいて、前記ボンディングツールの取り付け軸に、冷却機能を備えたことを特徴とするアウターリードのボンディングツール。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/52
