特許
J-GLOBAL ID：200903066178505820
微小バネ測定機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328788
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164666
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】微小バネの特性値測定に於いて、従来行われていた微小バネの固有振動数より算出したり、微小バネの形状からコンピュータシュミレーションにより推定したりして間接的に微小バネの特性値を求めるのではなく、直接的にかつ精確に微小バネの特性値を求める。【構成】上皿16上にピン14を立てた上皿天秤4と、ピン14先頂端に上側から任意力点を当接する被測定バネα及び被測定バネαの保持端α1の上下変位を測定する隙間センサ11をそれぞれ取付けた上下微動変位自在な精密Zステージ8と、精密Zステージ8を前後左右微動変位自在なXY微動ステージ9と、被測定バネα上方に対物レンズ2を臨ませた顕微鏡1を備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
上皿上にピンを立てた上皿天秤と、当該ピン先頂端に上側から任意力点を当接する被測定バネおよび当該被測定バネの保持端の上下変位を測定する変位センサをそれぞれ取付けた上下微動変位自在な精密Zステージと、当該精密Zステージを前後左右微動変位自在なXY微動ステージと、前記被測定バネ上方に対物レンズを臨ませた顕微鏡を備えたことを特徴とする微小バネ測定機
IPC (2件)：
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