特許

J-GLOBAL ID：200903066183163783

曲面研磨装置

発明者： 川島 康成 ,  山田 茂
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-275543
公開番号（公開出願番号）：特開2002-086334
出願日： 2000年09月11日
公開日（公表日）： 2002年03月26日
要約：

【要約】【課題】 研磨面が曲面であるために研磨荷重が変動しても、その変動に伴って変形する弾性体研磨工具の形状を求め、研磨加工条件を補正することにより研磨条件を均一化して、加工精度の向上を図ることができる曲面研磨装置を提供する。【解決手段】 ベース3を移動させることにより研磨対象部材Mを移動させながら、静圧案内・空気圧シリンダ機構5により研磨荷重を加えつつ回転する弾性体研磨工具2により前記研磨対象部材Mを研磨する構成の曲面研磨装置において、制御装置6が、研磨荷重の変動により変化する弾性体研磨工具2の変形量を求め、求められた変形量に応じて研磨加工条件を補正する構成にした。また、研磨荷重の変動により変化する弾性体研磨工具2の変形量として、その弾性体研磨工具2の実稼動時における回転半径を算出する構成にした。

請求項（抜粋）：

研磨対象部材を移動させながら、研磨荷重を加えつつ回転する弾性体研磨工具により前記研磨対象部材を研磨する曲面研磨装置において、前記研磨荷重の変動により変化する前記弾性体研磨工具の変形量を求め、求められた前記変形量に応じて研磨加工条件を補正する構成にしたことを特徴とする曲面研磨装置。

Fターム (5件)：

3C049AA02 ,  3C049AA07 ,  3C049AA12 ,  3C049BA02 ,  3C049CB01