特許

J-GLOBAL ID：200903066183902888

銅系金属用研磨液

発明者： 平林 英明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-232825
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074237
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】半導体の動作を阻害する金属イオンを含まず、かつ、研磨後に配線上部にへこみが生じにくいとともに、高速で研磨が可能な銅系金属用研磨液を提供すること。【解決手段】銅と反応して水に難溶性で、かつ銅よりも機械的に脆弱な銅錯体を生成する水溶性の有機酸とシュウ酸とを含有するようにした。

請求項（抜粋）：

銅と反応して水に難溶性で、かつ銅よりも機械的に脆弱な銅錯体を生成する水溶性の有機酸とシュウ酸とを含有することを特徴とする銅系金属用研磨液。

IPC (3件)：

H01L 21/304 321 ,  B24B 57/02 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

H01L 21/304 321 P ,  B24B 57/02 ,  H01L 21/308 G