特許
J-GLOBAL ID：200903066184169700
計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-249403
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089527
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 計測および計測結果の検証が簡単な計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置を提供する。【解決手段】 制御装置5は、駆動装置1によって対象物2をX軸およびY軸方向に既知の距離±Δx/2,±Δy/2だけ移動させ、画像入力装置3および画像処理装置4によって対象物2の移動後の位置を順次計測し記憶する。次に制御装置5は、既知の距離±Δx/2,±Δy/2と記憶した計測値とに基づいて、画像処理装置4内の座標系から駆動装置1の座標系への座標変換係数を演算する。
請求項（抜粋）：
対象物を2次元座標系内で平行移動および回転させるための駆動手段、前記対象物を撮像するための撮像手段、前記撮像手段の撮像出力に基づいて、前記対象物の2次元座標系内における位置を検出するための画像処理手段、および前記画像処理手段の検出出力に基づいて演算処理を行なうとともに前記各手段を制御する演算制御手段を備え、前記対象物の位置、寸法、面積などを計測する計測装置において、前記演算制御手段の演算に必要なパラメータを計測する方法であって、前記駆動手段によって前記対象物を既知の方向に既知の距離だけ移動させ、その既知の方向および距離と前記画像処理手段の検出出力から得られる前記対象物の移動方向および移動距離とに基づいて、前記画像処理手段内の2次元座標系から前記駆動手段の2次元座標系への座標変換に必要な係数を計測することを特徴とする、計測装置の演算パラメータ計測方法。
IPC (8件)：
G01B 11/00
, G01B 11/02
, G01B 11/28
, G03F 9/00
, G06T 7/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
, H01L 21/66
G01B 11/00 H
, G01B 11/02 H
, G01B 11/28 Z
, G03F 9/00 H
, H01L 21/68 F
, H01L 21/66 J
, G06F 15/62 400
, H01L 21/30 525 W
