特許
J-GLOBAL ID：200903066185334097
表面欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 久義 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215472
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052766
出願日： 1991年08月27日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 曲面状を呈するワーク表面のキズ、ピンホール等の表面欠陥の有無を、高精度に検査できる表面欠陥検査装置を提供する。【構成】 ワークAの表面へ光を照射する光源1と、光源1によって照射された光の反射光を受領する撮像装置2と、撮像装置2によって撮影された画像の濃淡から表面欠陥の有無を検出する欠陥検出部4とが設けられる。そして、前記光源1とワークAとの間に、細幅状透光部11と細帯状遮光部12とを交互配置に有する照射制御部材10を配設する。これにより欠陥検出精度が向上する。
請求項（抜粋）：
ワーク(A)の表面へ光を照射する光源(1)と、該光源(1)によって照射された光の反射光を受領する撮像装置(2)と、該撮像装置(2)によって撮像された画像の濃淡から表面欠陥の有無を検出する欠陥検出部(4)とを備えた表面欠陥検出装置であって、前記光源(1)と前記ワーク(A)との間に、細幅状透光部(11)と細幅状遮光部(12)とを交互配置に有し、ワーク表面に光源(1)からの光をストライプ状の明暗をもって照射せしめる照射制御部材(10)が配設されてなることを特徴とする表面欠陥検出装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G03G 21/00 118
, G06F 15/62 400
, H04N 7/18
