特許
J-GLOBAL ID：200903066195563787

半導体装置の製造方法及び半導体装置

発明者：
前川 大介

前川 大介 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について

, 
中部東芝エンジニアリング株式会社

中部東芝エンジニアリング株式会社 について


代理人 (3件)： 大胡 典夫 ,  竹花 喜久男 ,  宇治 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-139081
公開番号（公開出願番号）：特開2004-342908
出願日： 2003年05月16日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】スパイクの発生を抑え、信頼性の高い半導体装置とその製造方法を提供する。【解決手段】シリコン基板1上にゲート4を形成する工程と、シリコン基板1の所定位置に拡散層2、3を形成する工程と、ゲートの側壁5を形成する工程と、拡散層2、3及びゲート4上にサリサイドメタル層6を形成する工程と、全面に層間絶縁膜7を形成する工程と、層間絶縁膜7に、ゲート4とシリコン基板1に接続するコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールにバリアメタル層8aを形成する工程と、バリアメタル層8a上に金属層8bを形成する工程を具備し、ゲート側壁5を形成する工程の前に、全面にGeイオンを注入する工程を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シリコン基板上にゲートを形成する工程と、 前記シリコン基板の所定位置に拡散層を形成する工程と、 前記ゲートの側壁を形成する工程と、 前記拡散層及び前記ゲート上にサリサイドメタル層を形成する工程と、 全面に層間絶縁膜を形成する工程と、 前記層間絶縁膜に、前記ゲートと前記シリコン基板に接続するコンタクトホールを形成する工程と、 前記コンタクトホールにバリアメタル層を形成する工程と、 前記バリアメタル層上に金属層を形成する工程を具備し、 前記ゲート側壁を形成する工程の前に、全面にGeイオンを注入する工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
IPC (10件)：
H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L21/768 ,  H01L21/8244 ,  H01L21/8247 ,  H01L27/11 ,  H01L27/115 ,  H01L29/78 ,  H01L29/788 ,  H01L29/792
FI (8件)：
H01L29/78 301P ,  H01L21/28 A ,  H01L21/28 301D ,  H01L27/10 381 ,  H01L21/90 C ,  H01L29/78 301Y ,  H01L29/78 371 ,  H01L27/10 434
Fターム (100件)：
4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB20 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD06 ,  4M104DD17 ,  4M104DD19 ,  4M104DD26 ,  4M104DD91 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE12 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF14 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104HH04 ,  5F033HH04 ,  5F033JJ18 ,  5F033KK01 ,  5F033KK04 ,  5F033KK25 ,  5F033MM07 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ60 ,  5F033QQ62 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ70 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR15 ,  5F033TT02 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033XX28 ,  5F083BS00 ,  5F083BS46 ,  5F083GA06 ,  5F083GA09 ,  5F083JA35 ,  5F083JA39 ,  5F083JA53 ,  5F083MA01 ,  5F083MA03 ,  5F083MA05 ,  5F083MA19 ,  5F083PR29 ,  5F083PR36 ,  5F101BD27 ,  5F101BD45 ,  5F101BF09 ,  5F101BH09 ,  5F101BH13 ,  5F140AA24 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140AC32 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BF38 ,  5F140BF60 ,  5F140BG08 ,  5F140BG09 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG34 ,  5F140BG37 ,  5F140BG43 ,  5F140BG44 ,  5F140BG45 ,  5F140BG46 ,  5F140BH15 ,  5F140BH22 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ28 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK22 ,  5F140BK26 ,  5F140BK34 ,  5F140BK39 ,  5F140CA01 ,  5F140CA02 ,  5F140CA03 ,  5F140CC01 ,  5F140CC07 ,  5F140CC08 ,  5F140CF04 ,  5F140CF05 ,  5F140CF07

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