特許

J-GLOBAL ID：200903066198417170

ウエーハ上に形成された感光膜の現像方法

発明者： 金 商甲
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-154617
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186123
出願日： 1998年06月03日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 ウエーハの回転速度を落してもウエーハ上に溶解された感光膜粒子と現像液及び洗浄液の微細な残留物が残らない現像方法を提供する。【解決手段】 望みのパターンを形成するための物質層11とその上にコーティングされた感光膜12が形成されたウエーハ10を、感光膜12の表面が地面に対し下へ向かうようにウエーハホルダー14に装着する段階と、感光膜12の表面に現像液噴射装置16を利用して現像液28を噴射して感光膜12と現像液28を反応させる段階と、現像液28が噴射された感光膜12の表面に洗浄液噴射装置16を利用して洗浄液を噴射する段階を具備し、現像液噴射段階と洗浄液噴射段階はウエーハ10が回転する状態で進行される。

請求項（抜粋）：

望みのパターンを形成するための物質層と前記物質層上にコーティングされ露光された感光膜が形成されたウエーハを前記感光膜の表面が下へ向かうようにウエーハホルダーに装着する段階と、前記感光膜の表面に現像液噴射装置を利用して現像液を噴射し前記感光膜と前記現像液を反応させる段階と、前記現像液と反応された感光膜の表面に洗浄液噴射装置を利用し洗浄液を噴射する段階を具備し、前記現像液噴射段階と前記洗浄液噴射段階は前記ウエーハが回転する状態で進行されることを特徴とするウエーハ上に形成された感光膜の現像方法。