リニアモータ装置、これを用いたステージ装置、露光装置、これを用いて製造されたデバイス、リニアモータの駆動方法、ステージ装置の駆動方法、露光方法、及び、デバイスの製造方法。

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-399168
公開番号（公開出願番号）：特開2002-199782
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】余分な電力の消費、発熱を抑えつつ位置制御の残差を最小にできるリニアモータ装置を提供する。【解決手段】ステージ装置20のリニアモータ100には、固定子110側に複数のコイル111...が配列されている。コイル111...とコントローラ26制御部200との間には複数のスイッチS01〜S39を具えたコイル切換スイッチ部28U,28V,28Wが設けられている。コントローラ26は、コイル切換スイッチ部28U,28V,28WによるスイッチS01〜S39のオン/オフ制御を、ウェハステージ30(可動子110)の駆動状態(例えば、駆動制御の経過時間t、ステージ位置X、電流値I、加速度α)に応じて制御する。

請求項（抜粋）：

複数のコイルを有する第1の部材と、複数の磁石を有する第2の部材と、前記第1の部材の前記複数のコイルに電流を選択的に供給して、前記第2の部材を前記第1の部材に対して相対的に移動させる制御手段とを備え、前記制御手段は、前記第2の部材の駆動状態に応じて電流を供給するコイルの数を決定することを特徴とするリニアモータ装置。

IPC (5件)：

H02P 7/00 101 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027 , H01L 21/68 , H02K 41/03

FI (5件)：

H02P 7/00 101 B , G03F 7/20 521 , H01L 21/68 K , H02K 41/03 A , H01L 21/30 503 A

Fターム (43件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA13 , 5F031HA38 , 5F031HA53 , 5F031JA02 , 5F031JA06 , 5F031JA14 , 5F031JA17 , 5F031JA27 , 5F031JA32 , 5F031KA06 , 5F031LA03 , 5F031LA04 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046CC03 , 5F046CC13 , 5F046CC18 , 5H540AA01 , 5H540BA03 , 5H540BB01 , 5H540BB07 , 5H540BB08 , 5H540BB09 , 5H540EE05 , 5H540FA02 , 5H540FA12 , 5H540FB01 , 5H540FC07 , 5H540FC10 , 5H641BB06 , 5H641BB11 , 5H641BB16 , 5H641BB18 , 5H641BB19 , 5H641GG02 , 5H641GG03 , 5H641GG26 , 5H641HH02 , 5H641HH03

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